三坐标测量机是一种用于机械工程领域的计量仪器，三坐标测量仪可以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
气源要求:
1.未及时清理油迹或水迹，空气中的灰尘颗粒落在导轨面上，与油迹或水迹混合，依附在导轨面上，将导致三坐标测量机无法正常运行，严重的可能烧毁三坐标测量机的伺服电机及其控制柜。
2.如未及时更换滤芯，压缩空气中水及油体积质量超标，三坐标测量机导轨面将产生油迹或水迹，影响三坐标测量机的精度和正常使用。
3.未及时更换滤芯，压缩空气中的水、油体积质量超标，大量的油水混合物将通过电磁阀，带走其内部的润滑脂，造成电磁阀动作失灵，使其无法打开或关闭，将引起三坐标测量机的Z轴失去保护，有可能撞坏三坐标测量机的测头部分。
4.未及时更换滤芯，微尘含量或者颗粒大小超标，进入电磁阀，造成电磁阀动作失灵，即无法打开或关闭，可能引起空气轴承堵塞，导致其无法浮起，划伤导轨或空气轴承，测量机将无法正常使用。
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