型号：Crossbeam 350 /550

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蔡司 Crossbeam 将场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）镜筒的强大成像和分析性能与新一代聚焦离子束（FIB）的优异加工能力相结合。无论是切割、成像或进行 3D 分析，Crossbeam 系列都能极大地提升您的应用体验。

型号：E-LIT

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德国InfraTec锁相热红外成像显微镜用于测量芯片瞬态结温、热阻组成、热容组成等热特性参数。系统主要构成包括：红外热像仪、热阻测试台、电源、数据采集及分析系统（工作站电脑）、恒温台等。

型号：PHEMOS-1000 / PHEMOS-X

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Thermal EMMI微光显微镜(滨松微光显微镜)是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可与通用探测仪结合使用，因此您可以使用您已经熟悉的样品设置来执行各种分析任务。安装可选的激光扫描系统可以采集高分辨率图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，例如发射分析、热分析和 IR-OBIRCH 分析。

型号：

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用于 TEM 和 STEM 成像或原子探针断层扫描的样品制备。产品可实现优良的自动化操作，简单易用，并且能够进行高质量的亚表面 3D 表征。