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Logitech 抛光液在其苏格兰自有实验室研发生产,覆盖胶体二氧化硅、氧化铝、化学机械抛光液及金刚石悬浮液等种类。拥有多切削刃、高材料去除率、低表面粗糙度等特点,适用于硅晶圆抛光和各类光学/电光元件最终抛光。粒径精准控制、悬浮稳定性优异、可按用量灵活选规格。
Logitech 抛光布系列专为 CMP(化学机械抛光)工艺设计,覆盖从粗抛到最终精抛的全流程。优异的耐酸碱性能,可在腐蚀性化学环境中高速抛光。自粘背胶,即撕即贴,规格从 8 英寸到 28 英寸全覆盖。多种不同材料、密度、纹理、结构、硬度和回弹性可供选择用于应对不同的加工环境。
Logitech 研磨粉采用独特的分级工艺,颗粒尺寸和形状控制远超行业标准,确保每次抛光结果的高度可重复性。用户可根据加工材料和工艺要求选择适合的磨抛粉和磨抛粉粒径,我们提供有:氧化铝粉、氧化铈抛光粉、金刚石抛光粉、碳化硅粉、碳化硼粉等等。
这是台Logitech公司生产的一款适用于科学研究的晶圆研磨和抛光系统。采用电脑程序控制,可实现数据传输、工艺存储及实时监控和反馈。它能够完成4英寸以下尺寸样品的小批量处理,整个过程全封闭控制,并内置清洗功能。
一个全新的多工位精密研磨和抛光系统。这台台式设备被设计成可同时运行自动程序,使操作人员能够按照严格的样品规格实现可重复的结果。该系统有四个工作站作为标准,是生产环境和研究实验室的最佳解决方案。
罗技Orbis CMP系统是一种精密设计的落地式CMP工具,非常适合于研发环境。通常情况下,Orbis CMP系统用于进行试验性生产测试的应用,具有最佳的分析能力和增强的加工性能。
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