三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。测量功能包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
三坐标测量仪是一种高精度的计量设备，为了保持其持续的高精度，需要针对安装环境的温度进行补偿，这同时，测量机各部件温度特性也是一项重要指标。满足了工件质量过程控制，可同客户自动化加工生产系统进行信息交互。系统集成了自动化料线/工业机器人、机器抓手、自动化夹具、自动识别装置等，提供了检测效率。
检测过程待检零件的通知、零件送检传输、测量机的上、下料及检测后的零件分流等全部过程自动化，独立检测系统进行工件自动化检测，提高检测效率。同时在工件加工生产过程中进行工件的自动检测，满足工件质量过程控制，提高检测效率和检测频次。
三坐标测量仪还有比较大的逆向工程的工作能力，也是一种比较理性的数字化的使用工具。由于测量机的精度更高，有助于进行工件评估，还因为扫描能够提供比其它测量机的单点测量更详细的几何形状、形式和尺寸信息，再有测量机还可以与接触式和非接触式扫描测头进行组合，如果与测量软件相结合使用，还可以具有比较强大的扫描的功能，可以完成一些比较复杂的工件与模型的复制，而其实直接的进入程序，在这种情况下会使生产效率得到提高。
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