型号：E-LIT

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德国InfraTec锁相热红外成像显微镜用于测量芯片瞬态结温、热阻组成、热容组成等热特性参数。系统主要构成包括：红外热像仪、热阻测试台、电源、数据采集及分析系统（工作站电脑）、恒温台等。