服务热线:
13917975482
相关技术文章/ ARTICLES
产品展示

您现在的位置:首页  >  产品展示  >  其它科学仪器设备  >  RIE反应离子刻蚀  >  日本SAMCO RIE等离子蚀刻设备

日本SAMCO RIE等离子蚀刻设备

简要描述:RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能、全自动反应离子刻蚀系统,能够满足非腐蚀性气体化学最ke刻的工艺要求。 计算机化触摸屏为工艺配方编程和存储提供了用户友好的界面。该系统可以实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。凭借其圆滑、紧凑的设计,RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。

  • 产品型号:RIE-10NR
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-08-11
  • 访  问  量:568
  • 产品简介
品牌其他品牌晶圆尺寸8英寸
尺寸500 mm(宽)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)反应室尺寸φ340mm

 

反应离子刻蚀机

SAMCO RIE-10NR

 





简介:

RIE-10NR是一种新型的低成本、
高性能、全自动反应离子刻蚀系统,
能够满足非腐蚀性气体化学最KE刻
的工艺要求。
计算机化触摸屏为工艺配方编
程和存储提供了用户友好的界面。
该系统可以实现精确的侧壁轮
廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。
凭借其圆滑、紧凑的设计,
RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。
 
应用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化镓、钼、铂、聚酰亚胺等材料的
腐蚀失效分析中的选择性层腐蚀。




 

 

 

 

 

 

 

主要功能和优点:
1、加工至ø220 mm(ø3“x 5,ø4"x 3,ø8"x 1)。
2、高选择性各向异性蚀刻满足严格的工艺要求全自动“一键式"操作。
3、自动压力控制,允许独立于气流干泵和系统布局的过程压力精确控制,便于维护。
4、于Windows的用户界面,丰富的配方和内置的数据记录功能,是一个可靠和持久的系统,全球安装了400多个系统。
 
 
 
主要参数规格:
基板
220 mm(ø3“x 5,ø4"x 3,ø8"x 1)
负载
开放式
上下电极
ø240 mm
射频功率
300瓦@13.56兆赫,自动匹配(500瓦为选项)
可切换射频供电电极(阳极/阴极模式)为选项
气体管道
内部2条MFC控制的气体管道(最多6条)
干泵(500升/分钟)
操作系统
触摸屏操作(可选择基于Windows的用户界面)、配方管理
端点检测
光学发射光谱(OES)作为一种选择
尺寸
500 mm(宽)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)

 

 
 
 
             
 
 
 



 


留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
似空科学仪器(上海)有限公司 版权所有    备案号:沪ICP备18020550号-3

技术支持:化工仪器网    管理登陆    网站地图

联系电话:

微信服务号