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AXISTEC激光晶圆划片机,采用高精度激光,形成极小的光点,因其非接触式加工,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形,且热影响极小,激光寿命长,搭配高精度平移台,使得划片精度高,速度快,成本更低。
高精度光电自准直仪是一种用于检测平面反射镜微小角度变化的光学测量仪器,从功能上理解,自准直仪是将准直仪 (或平行光管)和准直望远镜结合为一体的一台仪器。自准直仪通常由光源、分划板、分光镜、物镜以及望远接收部分构成(参见以上示意图),光学自准直仪的望远接收部分由分划板和目镜组成,通过人眼观测并结合机械测微装置完成测量,光电自准直仪的望远接收部分则由光电传感器完成接收和测量。
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