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发射扫描电子显微镜ReguluS

简要描述:发射扫描电子显微镜ReguluS
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
放大倍率:
20~2,000,000倍*4
加速电压:
0.01~20 kV
分辨率:
0.7 nm(加速电压 15 kV)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-08-17
  • 访  问  量:180
  • 产品简介

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的zui佳性能。

*1

仅限Regulus8240/8230/8220



发射扫描电子显微镜ReguluS特色:
 

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的zui佳性能
  • 与现有机型相比分辨率提高了20%左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空样品仓
  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察


样品:金颗粒
着陆电压:10 V

超高分辨观察


样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析


样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV

 

 

*2

仅限Regulus8240/8230/8220

发射扫描电子显微镜ReguluS规格:

项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率0.8 nm
(加速电压15 kV)
1.1 nm
(着陆电压1 kV)*3
0.7 nm(加速电压 15 kV)
0.9 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
样品台样品台控制3轴马达台(可选5轴马达台)5轴马达驱动
移动范围X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再现性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

 

 

*3

减速模式下观察

*4

以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

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