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原子力显微镜全自动型 AFM5500M

简要描述:原子力显微镜全自动型 AFM5500M
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-08-18
  • 访  问  量:142
  • 产品简介
原子力显微镜全自动型 AFM5500M主机
马达台自动精密马达台
最大观察范围:100 mm (4英寸)全域
马达台移动范围:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最小步距:XY 2 µm、Z 0.04  µm
最大样品尺寸直径:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
样品重量:2 kg
扫描范围200 µm x 200 µm x 15 µm (XY:闭环控制 / Z:感应器监控)
RMS噪音水平*0.04 nm 以下(高分辨率模式)
复位精度*XY: ≤15 nm(3σ、计量10  μm的标准间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的标准深度)
XY直角度±0.5°
BOW*2 nm/50 µm 以下
检测方式激光检测(低干涉光学系统)
光学显微镜放大倍率:x1 ~ x7
视野范围:910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm
显示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸显示器)
减震台台式主动减震台 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、约28 kg
防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg
大小?重量400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、约 90 kg
  • * 参数与设备配置及放置环境相关。
AFM5500M 专用原子力显微镜工作站
OSWindows7
RealTune®II自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈
操作画面操作导航功能、多窗口显示功能(测试/分析)、3D图像叠加功能、扫描范围/测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功能
X, Y, Z扫描驱动电压0~150 V
时时测试(像素点)4画面(最大2,048 x 2,048)
2画面(最大4,096 x 4,096)
长方形扫描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析软件3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自动控制功能自动更换悬臂、自动激光对中
大小?重量340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、约 34 kg
电源AC100 ~ 240 V ±10% 交流
测试模式标配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 选配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
  • * WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。
  • * RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。
选配项:SEM-AFM联用系统
可适用的日立SEM型号SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
样品台大小41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
最大样品尺寸Φ20 mm x 7 mm
对中精度±10 µm (AFM对中精度)

1. 自动化功能

  • 高度集成自动化功能追求高效率检测
  • 降低检测中的人为操作误差


4英寸自动马达台




自动更换悬臂功能














2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了zuixin研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

  • * 使用AFM5100N(开环控制)时

3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察?分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上图是AFM5500M拍摄的形状像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。

  • 通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。
  • 石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。
  • SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。



 

 

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