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SONIX超声波晶圆检测系统AutoWafer Pro

简要描述:SONIX超声波晶圆检测系统AutoWafer Pro符合一级净化间标准● Cassette装载,全自动检测,支持FOUP或FOSB机械臂。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-08-12
  • 访  问  量:226
  • 产品简介

SONIX™公司是世界500强丹纳赫集团(NYSE: DHR)下的全资子公司,是全球超声波扫描检测仪和无损检测设备的制造商。 自1986年成立以来,SONIX™在无损检测领域中不断改革创新,是*家基于微机平台,提供全数字化成像方案的公司。 SONIX? 设备被广泛应用于各种材料的无损检测,包括半导体,汽车零件和其他先进元件。 拥有独立开发的软件,硬件和**技术,这么多年来通过和客户的不断合作,实现了SAM技术的持续改进。

AutoWafer Pro™: Ultrasonic Equipment for NDT of Bonded Wafers

SONIX AutoWafer Pro™ 是专为全自动晶圆检测设计的机型,主要应用在Bond wafer,MEMS 内部空洞、离层检测,TSV量测方面。
● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准● Cassette装载,全自动检测,支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件

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