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Semicaps EMMI微光显微镜SOM1100

简要描述:Semicaps是一家先进的芯片漏电定位设备制造商,公司产品涵括正置、倒置、静态、动态各种应用的机型,世界TOP50的半导体公司很多是他的客户。在Lock in信号增强技术和SIL镜头(纳米线宽侦测)技术领域,位于行ye前列。2013年Semicaps和仪准合作正式进入中国,凭借着产品的先进性、合理的价格以及完善的售后服务体系,迅速得到中国广大客户的认可。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-12-11
  • 访  问  量:146
  • 产品简介

阻抗变化显微镜TIVA


产品简介:

       Semicaps是一家先进的芯片漏电定位设备制造商,公司产品涵括正置、倒置、静态、动态各种应用的机型,世界TOP50的半导体公司很多是他的客户。在Lock in信号增强技术和SIL镜头(纳米线宽侦测)技术领域,位于行ye前列。2013年Semicaps和仪准合作正式进入中国,凭借着产品的先进性、合理的价格以及完善的售后服务体系,迅速得到中国广大客户的认可。




漏电定位手段有三种


1、侦测光子(EMMI)

2、激光刺激侦测阻抗变化(TIVA&VBA)

3、侦测热(Thermal)

产品特性
                                                                                                                     
●  可用于晶片、晶片零件 和封装期间的正反面分析
●  高稳定的系统可探测出FIB镀出的测试盘
●  兼容第三方的探测站、探测板和探测臂
●  高分辨率工作台,重复精度达到0.5μm
●  可选中心折射和屈光的固体浸入式镜头(RSIL专li)
●  可选CAD接口
●  兼容热管理解决方案
●  技术配备包含以下几种
●  激光定时抬头(LTP
●  高敏感度的激光扫描光学显微镜(SOM
静态:TIVA, OBIRCH
动态:LADA, SDL
●  光发射显微镜 (PEM),可选InGaAs 或者 Si-CCD摄像头
热显微镜(THM),配备InSb摄像头







具体规格如下:


Si探测器

采集晶片

硅基芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片低降温

-70°C

冷却时间

小于10分钟(常温至-70°C)

InGaAs探测器

采集晶片

铟砷化镓晶片

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

20 微米 x 20 微米

晶片尺寸

12.8毫米 x 10.24 毫米

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片低降温

-70°C

冷却时间

小于10分钟(常温至-70°C)

Thermal探测器

晶片类型

MCT

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

15 微米

晶片尺寸

9.6 毫米 x 7.68 毫米

冷却方式

Stirling cooled

探测器晶片低降温

80k

TIVA模块

激光部分

激光能量:500毫瓦
激光波长:1340纳米
扫描像素:2048×2048 pixel
Laser Pulsing 功能:灵敏度提升9倍

电流源部分

配置Keithely2450规格如下:
电压范围:+-200V
电压分辨率:500nV
电流范围:小于等于1A
电流分辨率:10fA
也可以外jie户B1500、B1505、4200等测试仪

主控台

移动方式

电脑+手摇杆双控制

X-Y-Z移动范围

50*50*100 毫米

X-Y移动解析度

0.1微米

Z移动解析度

0.02微米

光学显微镜

品牌

Semicaps定制

目镜

10X一对

物镜

2.5x,5x,20x,HR50x(100x选配)

探针台

尺寸

6、8、12寸单双面探针台可选

电压范围

3000V以下可选

电流范围

直流10A以内;脉冲40A以内可选

探针座移动精度

0.7微米

减震台

减震方式

大理石+减震气囊双防震系统

减震效果

97%@10Hz




SEMICAPS SOM 1100
立式热点检测微光显微镜


InGaAs 探测器

采集晶片

铟砷化镓晶片

像素

640*512 pixel

像素尺寸

20 微米×20 微米

晶片尺寸

12.8 毫米 x 10.24 毫米

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片zui*  低降温

-70°C

冷却时间

小于 10 分钟(常温至-70°C)

TIVA 模块

激光部分

激光脉冲能量:500mW
激光波长:1340 纳米
扫描像素:2048*2048 pixel
Laser Pulsing 功能:灵敏度提升9倍
具备数字Lock-in功能

电流源部分

配置 Keithely2450 规格如下:
电压范围:+-200V
电压分辨率:500nV
电流范围:小于等于 1A
电流分辨率:10fA
也可以外jie户 B1500、B1505、4200 等测试仪

主控台

移动方式

电脑+手摇杆双控制

X-Y-Z 移动范围

50*50*100 毫米

X-Y 移动解析度

0.1 微米

Z 移动解析度

0.02 微米

光学显微镜

品牌

Semicaps 定制

目镜

10X 一对

物镜

2.5x,5x,20x,HR50x(100x 选配)

探针台

尺寸

6、8、12 寸单双面探针台可选

电压范围

3000V 以下可选

电流范围

直流 10A 以内;脉冲 40A 以内可选

探针座移动精度

0.7 微米

减震台

减震方式

大理石+减震气囊双防震系统

减震效果

97%@10Hz




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