Hitachi离子溅射

日立离子溅射仪 MC1000 

LCD触摸屏设
计操作简单适

记忆功能存
储处理方案

适用复杂样品

特点

● Hitachi离子溅射采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件

● 可处理较厚或较大的样品(选配件)

● Hitachi离子溅射记忆功能可存储常用加工条件

技术规格

放电

类型

磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)

电极组成

反向平行盘(嵌入磁铁)

电压

最大 0.4 kV DC(直流可变)

电流

最大 40 mA DC

喷镀速率 ^*1(最大)
[条件]
压力：7 Pa
放电电流：40 mA
标靶与样品表面之间的距离：20 mm

Pt 靶(选配件)

15 nm/min

Pt-Pd 靶(选配件)

20 nm/min

Au 靶(选配件)

35 nm/min

Au-Pd 靶(选配件)

25 nm/min

样品尺寸

最大直径 

φ60 mm

最大高度

20 mm

机械泵

135/162 l/min (50/60Hz)

靶材^*2

Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)

电源要求

单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)

尺寸

宽度

450 mm

长度

391 mm

高度

390 mm

重量

主机：约 25 kg
机械泵：约 28 kg

*1： 喷镀速率仅供参考

*2： 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂，铂-钯，金，金-钯)。

选配附件

膜厚/温度控制单元*1

镀层厚度控制范围：1nm 至 30nm
温度控制范围：室温至低于室温-25℃

蒸镀单元

蒸镀碳（铅笔芯）

大样品仓*2

最大直径：φ150mm 最大高度：20mm

变压器

适用电压：115，200,208,220,230,240V

安装要求

室温

15 ~ 30℃

相对湿度

≤85%

主机功率

AC 100V (±10%) ，50/60Hz，1.25kVA

接地地阻

≤100Ω